無塵車間電路設計中集成電路的施工要求

      集成電路芯片無塵凈化車間是努力實現半導體設備加工工藝要求的潔凈室，該無塵車間對自然環境潔凈度等級、溫度濕度、震動、ESD、AMC操縱等常有必須的規定。相對性于別的工業生產潔凈室，集成電路芯片生產制造無塵車間有總面積大、清潔等級高、溫度濕度線性度高等學校特性。

　　依據潔凈室生產車間氣體循環系統特性能夠將潔凈室分成幾種種類：循環系統空調相互配合高效送風口系統軟件、循環系統離心風機相互配合濕試密封性系統軟件和FFU呼吸系統。

　　第一種方式在小規模納稅人低等級規定的潔凈室生產車間設計方案中被運用，針對大規模高級的潔凈車間則存有運作成本費過高、占有室內空間過大等缺陷。

　　第二種方式的設計方案能夠考慮集成電路芯片生產制造無塵車間大規模高級的規定，但運作成本費較高，而且潔凈室風力、排風量調整艱難，系統更新更新改造艱難，因而實際操作協調能力很低。

　　第三種的FFU呼吸系統不但節約運作室內空間、潔凈度等級安全系數高、運作低成本，并且實際操作協調能力很高，能夠不在危害生產制造的狀況下隨時隨地開展系統更新和調節，這種都能非常好地考慮半導體設備的要求，因而在半導體材料加工業FFU呼吸系統逐步形成Z關鍵的清潔方案設計。

　　FFU呼吸系統的特性是：全部潔凈室由風壓層、加工工藝層、加工工藝輔助層和送風安全通道構成，由FFU出示循環系統氣體的驅動力，將新風系統、循環風混和后根據超高效過濾器送進加工工藝層和加工工藝輔助層，風壓層相對性于加工工藝層為空氣壓力。除此之外，也有生產制造輔助區為集成電路芯片生產廠務機器設備地區，包含能源供應、汽體和化工品供貨、超純水供貨等。

　　集成電路芯片生產制造對無塵車間自然環境的操縱有比較嚴苛的規定。不一樣的加工工藝制程對潔凈度等級的規定也不盡相同，比如光刻規定在1級的微自然環境下，而有機化學機械設備碾磨則只規定1500級的自然環境只能。

　　另一個，集成電路芯片生產制造潔凈廠房對噪音、微振、光照強度等常有有關的要求和規定，特別是在是震動的操縱，在潔凈室的建筑結構設計上還要有所為規定。

　　好的潔凈車間設計方案不但能節約能源、減少運作成本費、減少人力資源資金投入，并且能夠給生產制造出示可以信賴的確保。在3種清潔系統軟件中，FFU呼吸系統運作成本費Z少，潔凈度等級安全系數Z大，因而集成電路芯片潔凈廠房多選用FFU呼吸系統。

　　而潔凈度等級規定越高，溫度濕度線性度越高則潔凈室項目投資和運作成本費越高，因而在大自然環境潔凈度等級或溫度濕度規定相對性較低的狀況下，將某些重要的工藝技術布局在較高潔凈度等級或溫度濕度操縱地區內是集成電路芯片生產制造潔凈廠房的設計方案發展趨勢。

　　集成電路芯片生產制造是高耗能的產業鏈，而清潔空調機組的耗能則占至少的40%左右，因而環保節能安全性的潔凈室設計方案和各種各樣能源收購設計方案將是未來發展方位。

　　隨之集成電路芯片生產技術的連續不斷升級，流行大廠早已進到了納米技術時期，集成電路芯片生產制造潔凈廠房的設計方案修建和環保節能自主創新也必須不斷提高，為優秀制程商品生產制造出示確保。